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混合气体(部分特例)


用途

组份名称与常用浓度范围

平衡气

照明混合气

Ar 0.01-3%

Ne

Ar 30-50%

Ne

Ar 30%

Kr

N2 12-17%

Ar

Kr  1-5% Ar  5-30%

N2

Xe 3-7% Ne 1-5% Ar 5-10%

He

CH3Br  0.1-1%

Kr

激光混合气体

CO2 10-34%

He

CO2 4.5—16% N2  10—25%

He

H2 1% CO 4% CO2 16% N2 16%

He

还原混合气体

H2 30-70%

N2

CO 20-50%

N2

H2 5-15%

N2

焊接混合气体

O2 1-5%

Ar

CO2 10-20%

Ar

O2 1-2%

Ar

CO2 1-5%

Ar

CO2 5-10%

Ar

He 30-40%

Ar

He 50-80%

Ar

射线测定

CH4 10%

Ar

消毒杀菌

C2H4O 10-20%

液体CO2

Cl2 2-20%

N2

细胞培养

CO2 5%

O2

检漏

He 0.5-10%

N2或Ar


常用的特气混合气烷类气体:

(1)硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷和氢、氮、氩、氦的混合气体;

(2)原料气体纯度采用99.999%-99.9999%的高纯气体,稀释气体采用纯度≥99.9999%气体。


其他特气混合气体:

混合气名称

组份名称与常用浓度范围

平衡气

氟氩混合气

F2 1.0% Ar 3.4-3.6%

Ne

氩氖混合气

Ar 3.5% Xe 10ppm

Ne

氪氟混合气

F2 1.0% Kr 1.25%

Ne

氪氖混合气

Kr 1.25%

Ne